TOSHIAKI MAKABE, Foreign Member of AESS from 2002, was born in Yamato, Kanagawa in Japan in 1947. He graduated at Keio University in the Department of Electrical Engineering in 1970, successively he obtained his Masters in 1972, and Ph.D degrees in 1975. He was engaged in the Faculty of Science and Technology in Keio University in 1975 and as the assistant professor (1979), associate professor (1984) and full professor in 1991. He has been the head of Department of Electrical Engineering and Electronics during 1995 – 1999. He was the Director in the School of Integrated Design Engineering during 2001-2003, and the Chair in Personnel Committee in the Faculty during 2004 - 2006. He was also the Guest professor at Pohang University of Technology in Korea in 2001 and at Ruhr University Bochum in 2007. From 2007 he is the Dean of the Faculty of Science and Technology in Keio University. He is married and has two sons.

Professor Makabe has had an ongoing collaboration over 20 years with the Institute of Physics in Belgrade where he visited 8 times. The collaboration is evidenced by more than 30 papers in leading international journals. He was the Board of trustees in Japan Society of Applied Physics (JSAP) in 2005-2006. He is a member of editorial boards of international journals such as: Japanese Journal of Applied Physics (Editor 1992-1997); IEE of Japan A (Editor in Chief 1988-1989); JSAP International (Editor 2004-2005); Oyobuturi (Japanese magazine in JSAP) (Editor-in-chief 2005); Journal of Physics D (2001-2007); Plasma Sources Science and Technology (2000-). He has also been the guest editor of several special issues in Australian Journal of Physics (1995); Journal of Vacuum Science and Technology A (1998); IEEE Trans. on Plasma Science (1999, 2002, 2003, 2007), and Applied Surface Science (2002, 2006).

He is the member of JSAP, Physical Society in Japan, Electrical Engineers in Japan, Institute of Physics (UK), American Vacuum Society, and Electrochemical Society, etc. He is fellows in Institute of Physics (UK) and JSAP, etc., and associate member in Science Council in Japan. He has been the member of international scientific committees and chair of numerous conferences. In particular, he was the principal initiator and organizer of conferences ICRP, BANPIS as well as of the joint conferences of ICRP with GEC and ESCAMPIG. He was also the first non USA-Canada member of the executive committee of the GEC, and has been serving for 9 years as a member of SPIG (Yugoslav Conference and Symposium on Physics of Ionized Gases) scientific committee. He is awarded “Plasma Prize” (AVS), “Plasma Electronics Prize” (JSAP), and “Plasma Fluid Science Prize” (Tohoku Univ.), etc.

Prof. Makabe was the author of Books; “Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication” with Z. Lj. Petrovic (Taylor & Francis 2006); “Advances in Low Temperature RF Plasmas” (Elsevier 2002), and of three Japanese texts and of chapters in more than 8 books. He has published around 160 papers in leading international journals. He has also presented more than 50 invited lectures at international conferences. He has been the supervisor to more than 25 PhD and 100 Master theses. He was the principal investigator on numerous grants from Ministry of education, science and culture of Japan, Associations of the Japanese and US semiconductor industry; Research Project in Semiconductor Technology Academic Research Center (STARC) "Design of charging free plasma processes"; Joint Research in Association of Super-Advanced Electronics Technologies (ASET) “Modeling of plasma etching"; Joint Research in Semiconductor Leading Edge Technologies, Inc. (Selete), and Japan-Australia Collaborative Research Program, "Predictive modeling of nanometer scale plasma etching" JSPS, etc.

His laboratory is one of the leading centers in the world in swarm physics, non-equilibrium radio-frequency plasma physics, and in developing plasma processes for ULSI and achieving top-down plasma nanotechnology. The strategy of his approach is founded in methodology to provide physical understanding under mutual interaction between absolutely calibrated experiment and precise models. His particular scientific achievements include: (a) development of the Boltzmann equation of electrons and ions in rf fields; (b) first (robot-aided) computerized tomography (CT) of time-resolved absolute optical emission spectroscopy (OES) in HF-VHF CCP and ICP; (c) development of comprehensive plasma hybrid models based on his original relaxation continuum (RCT) theory of non-local transport and PIC model; (d) first OES of spatiotemporal change of plasma structure in E-H transition in ICP; (e) functional separation of 2 frequency CCP; (f) anomaly of rf-magnetron sputtering of insulator targets; (g) integration of plasma model with plasma-surface interaction and processes in ULSI, that is, the first vertically integrated CAD for device processing (VicAddress) for a feature profile prediction under competition among deposition, etching, and charging, etc.

ТОШИАКИ МАКАБЕ, инострани члан АИНС од 2002.године, је рођен у Јамату, Канагава у Јапану 1947. године. Дипломирао је на Кеио Универзитету на одсеку за електротехнику 1970 године. Своју магистарску тезу одбранио je 1972. године а докторску дисертацију одбранио је 1975. године. Био је ангажован на Факултету за Науку и Технологију Кеио Универзитета 1975. године, изабран је у званје доцента 1979. године, ванредни професор постаје 1984. а у звање редовног професора изабран је 1991. године. Проф. др Тошиаки Макабе је био руководилац одсека за електронику и електротехнику од 1995 до 1999. године. Био је директор одсека за инжењеринг интегрисаних кола (енгл. School of Integrated Design Engineering) током 2001-2003.године, kao i руководилац персоналног комитета на факултету током 2004-2006. године. Био је такође гостујући професор на техничком универзитету у Похангу (eнгл. Pohang University of Technology) у Кореји током 2001. године и на Рур Универзитету у Бохуму (eнгл. Ruhr University Bochum) током 2007. године. Током 2007. године налази се на месту декана Fакултета Науке и Tехнологије на Кеио Универзитету. Ожењен је и има два сина.

Проф. Макабе има интернационалну сарадњу преко 20 година са Институтом за Физику у Београду који је посетио 8 пута. Сарадња је озваничена са преко 30 радова у водећим међународним часописима. Био је председник Јапанског друштва за примењену физику током 2005-2006. године. Он је члан издавачких одбора интернационалних часописа као што су: Japanese Journal of Applied Physics (уредник до 1992-1997 године, IEE of Japan A (главни уредник 1988-1989), JSAP Internacional (уредник 2004-2005), Oyobuturi (Јапански часопис које издаје удружење за примењену физику JSAP) (главни уредник 2005); Journal of Physics D (2001-2007); Plasma Sources Science and Technology (2000-). Проф. Макабе је такође био гостујући уредник у неколико специјалних издања Australian Journal of Physics (1995); Jorunal of Vacuum Science and Technology A (1998); IEEE Trans. on Plasma Science (1999,2002,2003,2007), и Applied Surface Science (2002,2006). Проф. Макабе је члан Jапанског друштва за примењену физику, Друштва физичара у Јапану, Друштва инжењера електротехнике у Јапану, Института за физику (UK) , Америчког друштва за вакуум, Електрохемијског друштва итд. Он је и дописни члан Научног савета у Јапану. Био је члан међународних научних комитета и председавајући великог броја конференција. Од посебног је значаја да је Проф. Макабе био принципијелни иницијатор и организатор следећих конференција: ICRP и BANPIS, као и придружених конференција ICRP са GEC-ом i ESCAMPIG-ом. Он је такође био први члан Извршног комитета GEC-а који није амерички или канадски држављанин. Такође, био је 9 година члан научног комиета СПИГ-а (Југословенске конференција и симпозијума физике јонизовних гасова). Награђен је “Plasma Prize” ( AVS), “Plasma Electronics Prize (JSAP), and “Plasma Fluid Science Prize” (Tohoku Univ.) итд.

Проф. Макабе је аутор следећих књига: «Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication» са З. Петровићем (Taylor&Francis 2006»); «Advances in Low Temperature RF Plasmas» (Elsevier 2002), три књиге издате у Јапану и поглавља у више од 8 различитих књига. Он је публиковао око 160 радова у водећим међународним часописима. Проф. Макабе је презентовао више од 50 предавања по позиву на међународним конференцијама. Био је руководилац и ментор на више од 25 докторских и 100 магистарских теза. Учествовао је на истраживачком пројекту центра за академско истраживање полупроводничке технологије. (eнгл. Research Project in Semiconductor Technology Academics Research center (STARC) „Design of charging free plasma processes“, као и на многим другим укључујући (енгл. Joint Research in Association of Super-Advanced Electronics Technologies (ASET) „Modeling of plasma etching“; Joint Research in Semiconductor Leading Edge Technologies, Inc. (Selete), and Japan-Australia Collaborative Research Program, „Predictive modeling of nanometer scale plasma etching“ JSPS) итд.

Лабораторија Проф. Макабеа је један од водећих центара у свету у области физике ројева наелектрисаних честица физике неравнотежних радиофреквентних плазми и у области развоја плазма процеса за ULSI (eнгл. Ultra Large Scale Integrated) и плазма нанотехнологију. Стратегија рада његове лабораторије утемељена је у методологији обезбеђивања разумевања физичких процеса на основу апсолутно калибрисаних експеримената и прецизних модела. Од посебне су важности његова следећа научна достигнућа: (а) развој теоријских метода и нумеричких техника за решавање Boltzmann-ове једначине; (б) прва роботом асистирана компјутерска томографија временски разложене апсолутне оптичке емисионе спектроскопије јако високо и веома високо фреквентне капацитивно и индуктивно спрегнуте плазме; (ц) развој свеобухватних хибридних модела базираних на његовој оригиналној теорији релаксациониг континума нелокалног транспорта и тзв. Particle in cell (PIC) модела; (д) прва оптичко емисиона спектроскопија просторно-временске промене плазма структуре у тзв. Е-Х транзицији у индуктивно спрегнутим плазмама; (е) функционално раздвајање дво-фреквентног мода капацитивно спрегнуте плазме; (ф) аномалија рф-магнетрона за спатеровање изолаторских мета; (г) интеграција модела плазме (гасна фаза) и модела којима се описују интеракције на површинама и других процеса у ULSI .